岗位职责
- 薄膜工艺开发与窗口构建: 主导PVD、CVD及ECP等薄膜工艺的开发与验证,结合3D堆叠及封装需求,制定满足膜厚均匀性、应力控制及电性能要求的工艺方案;
- DOE设计与参数优化: 主导薄膜工艺DOE实验设计,系统分析温度、压力、功率及气体流量等关键参数对膜层质量的影响,确定并固化可量产复现的工艺窗口;
- 异常分析与良率提升: 主导薄膜制程中的异常排查与失效分析,协同整合团队定位根因并推动改善,持续提升工艺能力指数与产品良率;
- 前沿技术导入: 主导新薄膜材料、新设备功能的评估与导入,推动技术升级与成本优化,输出工艺评估报告与标准作业规范;
- 跨项目协同与经验沉淀: 协同研发、生产及设备团队完成跨模块技术对接,主导薄膜工艺知识库的搭建与迭代,提升团队整体技术效能。
职位要求
- 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子/物理/材料/化学工程等专业,具备扎实的薄膜沉积原理与半导体器件物理知识;
- 专业技能与资格:能独立使用PVD、CVD及ECP相关设备完成工艺开发与参数优化,具备DOE实验设计与数据分析能力,能阅读英文技术文献与专利;
- 行业与专业经验:10年以上半导体前段fab薄膜工艺经验,有PVD、CVD及ECP全流程开发经历,熟悉3D堆叠或封装薄膜工艺者优先;
- 项目/任务成果:主导或作为核心技术成员完成至少2个薄膜工艺开发或良率改善项目,具备3D集成相关薄膜工艺开发与验证的交付案例;
- 其他要求:具有系统性分析与跨部门沟通能力,能主动推动技术风险闭环与标准化建设,工作严谨细致,具备自驱学习与技术创新意识。