岗位职责
- 光刻工艺实验设计与优化: 设计并执行光刻工艺实验(涂胶、曝光、显影等),引入新材料或优化参数,提升分辨率、覆盖精度和工艺良率;
- 缺陷分析与根因排查: 分析光刻过程中的缺陷和异常(如CD均匀性、套刻精度问题),使用思维导图、DOE等工具进行根因分析,提出并验证改进方案;
- 新材料评估与成本优化: 根据工艺路线需求,主导新材料的引入与验证,在提升工艺能力的同时降低制造成本;
- 光刻设备操作与维护协作: 操作和维护光刻设备(如ASML光刻机),确保设备高效稳定运行,并与设备供应商协作推动技术升级;
- 数据分析与报告输出: 收集并整理实验数据,使用Python、JMP等工具进行数据分析,生成实验报告以支撑工艺验证与技术决策;
- 跨部门协同与技术转移: 与工艺整合、良率工程、设备工程等团队紧密协作,推动新工艺从研发阶段平稳转移至量产线;
- 技术跟踪与创新贡献: 跟踪行业前沿光刻技术(如DUV、多重曝光方案),参与内部研发项目,输出创新想法并推动验证。
职位要求
- 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,半导体物理、微电子、材料科学或光学相关专业,博士学历优先;
- 专业技能与资格:能使用MATLAB或Python完成光刻实验数据的建模与分析,能独立使用半导体检测设备进行工艺监控,具备流利的英语读写能力,能阅读技术文档和专利;
- 行业与专业经验:具备3年以上半导体光刻工艺研发经验,有ASML或Nikon等光刻设备操作经验;
- 项目/任务成果:主导过至少2个光刻工艺优化或新材料验证项目,独立解决过CD均匀性、套刻精度或良率相关的工艺异常问题;
- 其他要求:具有主动分析并解决复杂工艺问题的能力,学习意愿强,能在多项目并行环境下高效推动任务闭环。