岗位职责
- 标记方案制定: 主导制定产品Mark Plan Table,包含对准与套刻Tree结构,明确IBO/DBO标记类型选择逻辑,协同PI与PH Layer Owner对齐方案;
- 空间规划与协调: 基于产品需求估算所需标记数量,对接Frame设计团队,协调确定Frame空间分配及标记精确摆放位置;
- 尺寸定义与验证: 依据光刻设计规则约束,与PI协商制定标记关键尺寸,运用仿真软件进行标记光学与工艺可行性模拟,确认可用性并输出验证报告;
- 规则制定与交付: 制定完整Mark Table,明确标记的镜像对称关系与Dummy插入策略,确保与周边版图兼容,并负责标记GDS版图绘制、检查及最终交付,保证与工艺设计规则和Mask数据流一致。
职位要求
- 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子/光学/物理/材料等专业,具备较好的光刻工艺或半导体工艺整合知识基础;
- 专业技能与资格:能使用版图工具(如Virtuoso、Laker)与OPC/仿真软件完成标记设计与验证,具备英语阅读能力,能阅读国际技术标准;
- 行业与专业经验:3年以上半导体光刻或工艺整合经验,能进行光刻对准与套刻原理分析,熟悉IBO/DBO标记设计与检测原理;
- 项目/任务成果:主导过至少一个产品的标记方案设计与交付;
- 其他要求:具有跨部门沟通能力,能在多方协作中独立推动技术决策。