岗位职责
- 图形分析与筛选: 主导Pattern Select、Pattern Match、Pattern Grouping工作,从版图设计或OPC LMC热点出发,提取并归类关键图形,支撑工艺窗口的定向优化;
- 数据采集与量测分析: 统筹晶圆图像数据采集,利用SEM、EP
- KLA BFI/EBI等工具完成图形量测,统计CDU及热点缺陷误差(含ADI/AEI/ASI阶段),输出量测报告并推动数据驱动的工艺改善;
- 热点与硬缺陷识别: 主导Die-to-DB对比、热点识别、Contour抽取及图像分析,利用BFI图像分析叠层缺失(Missing)、额外物(Extra)等硬缺陷,闭环定位问题并反馈至OPC Layer Sponsor;
- 版图与工艺协同验证: 联动PIE及YE团队,从OPC或工艺缺陷出发增补二维量测,评估图形对CD误差的影响,为掩模修正提供数据驱动的改善建议;
- 验证流程迭代: 基于验证结果梳理工艺弱项,主导检测方法论的优化与标准化,开发自动化脚本提升分析效率,持续强化图形层面自检与闭环能力。
职位要求
- 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子/物理/材料/集成电路等理工类专业,具备半导体光刻与OPC基础原理知识;
- 专业技能与资格:能独立完成KLA BFI/EBI、SEM、EP5等量测工具的Recipe建立与数据分析,具备图像分析及Contour处理软件的操作能力,能使用Python等脚本语言完成数据的批量处理;
- 行业与专业经验:具备8年以上半导体制造领域OPC验证或光刻相关岗位经验,有图形筛选、CDU统计及热点缺陷分析的实际项目经历;
- 项目/任务成果:主导过至少2个图形层面CIP验证项目,成功识别并闭环工艺热点或硬缺陷问题,形成可复用的分析模板并输出标准化文档;
- 其他要求:具有跨团队协同与问题闭环能力,能主动对接OPC Layer Sponsor及PIE团队,推动验证结论快速转化为掩模或工艺优化方案。