岗位职责
- 设计离子注入工艺方案,调试参数(如能量、剂量、角度等)以满足芯片性能需求;
- 主导新工艺导入(NPI),完成工艺验证及稳定性测试;
- 监控工艺波动,通过DOE实验优化参数,解决注入均匀性/缺陷问题;
- 编写工艺规范文件(SOP)及培训新员工(经半年试用期后可转课经理管理岗)。
职位要求
- 教育背景与专业知识:本科及以上学历,材料科学、微电子、物理等专业优先;
- 行业与专业经验:3-10年离子注入工艺经验,熟悉IMP设备操作及原理;掌握半导体制造流程,具备良率分析能力;熟练使用SEM、TEM等检测工具分析注入效果。