岗位职责
- 量测Recipe构建与设定：构建与设定PV2E、EP
- OVL、CD、THK、XRF、RS、XPS、OCD、AFM等量测设备的Recipe；
- 在线量测异常诊断与排除：诊断并排除在线量测异常，包括生产线突发异常、SPC报表异常等；
- 设备稳定性维持与优化：维持与优化设备稳定性与可靠性；
- MSA系统操作与审核：操作MSA系统并执行审核作业；
- 实验数据收集与解读：收集与解读实验数据；处理PFA/TEM实验申请及报告解读；
- BR/PCRB申请负责：负责BR/PCRB申请。
职位要求
- 教育背景与专业知识：本科及以上学历，理工类专业；
- 行业与专业经验：3年及以上半导体行业工作经验；有量测机台Recipe setup经验，熟悉PV2E、EP
- OVL/CD/Thickness/X-Ray或OCD/AFM等设备者优先；
- 专业技能与资格：熟悉MSA系统、SPC与审核流程。
