岗位职责
- 制程问题攻坚:主导光刻工艺异常的根本原因分析,制定解决方案并推动落地;
- 工艺优化与创新:通过参数调优、新材料/设备评估,持续提升量产良率与效率;
- 技术路线开发:领导下一代光刻工艺的预研与技术突破;
- 专案与团队管理:统筹跨部门专案(如良率提升、成本优化),指导工程师团队达成目标。
职位要求
- 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子、材料、物理、化学工程等光刻相关专业;
- 行业与专业经验:12英寸晶圆厂光刻(Photo)工艺开发/量产经验≥8年,兼具研发与量产背景者优先;
- 专业技能与资格:精通光刻工艺全流程(涂胶、曝光、显影、检测)及配套设备(Scanner、Track);熟悉分辨率增强技术(RET)、OPC建模等关键模块;
- 其他要求:能系统性分析复杂工艺问题,提出创新性解决方案;高效联动整合、良率、设备团队推动技术落地;持续追踪光刻领域技术动态。