岗位职责
- 工艺体系建立与维护：主导KrF Scanner的工艺开发与日常维护，建立并持续优化稳定的光刻工艺体系；
- 参数优化与良率提升：开展DOE验证，系统优化曝光参数，解决线宽控制、套刻精度等工艺异常，推动良率持续提升；
- 新机台工艺导入与整合：主导新机台的工艺导入与验收，完成与现有机台的工艺匹配与整合；
- 标准制定与监控预警：制定工艺标准作业程序（SOP），建立工艺监控与预警机制；
- 知识沉淀与团队赋能：沉淀技术文档与工艺Know-How，牵头培训内部团队。
职位要求
- 教育背景与专业知识：本科及以上学历，微电子、材料、光学、化学等相关专业；
- 行业与专业经验：具有2年以上Scanner工艺开发或维护经验，熟悉Recipe建立及工艺窗口分析方法；
- 项目/任务成果：主导过至少2个工艺优化或新机台导入项目，并成功达成良率或工艺窗口目标；
- 其他要求：具有系统性数据分析与问题闭环能力，能独立开展DOE并输出结论。
