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清洗工艺研发主任工程师-TD WET Process Staff Engineer(J19741)

长鑫存储技术有限公司

  • 安徽省·合肥市、北京市
  • 研发技术类

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岗位职责

  1. 超洁净清洗机理研究: 聚焦硅片、光罩、晶圆盒等材料的超洁净清洗机理研究,开发高选择性、低损伤的湿法与干法清洗工艺,提升工艺窗口与良率表现;
  2. 工艺问题诊断与闭环解决: 提供WET工艺的技术指导与工艺问题故障排查,主导根因分析,提出并实施有效的解决方案,闭环消除工艺风险;
  3. 新型清洗液及表面活性剂配方开发: 主导新型清洗液、去胶剂、表面活性剂的配方设计与验证,针对Cu互连、High-k/Metal Gate等关键结构开发专用清洗方案,并推动导入量产;
  4. 技术难题攻克与新材料应用推进: 领导团队攻克清洗工艺领域的核心技术难题,推进新技术和新材料在量产线的应用验证与落地;
  5. 跨部门协作与对外协调: 参与跨部门研发项目,主动对接并协调外部合作单位(如设备供应商、材料厂商等),确保项目目标对齐与资源到位。

职位要求

  1. 教育背景与专业知识:硕士及以上学历,理工科背景(物理、化学、材料相关专业),具备扎实的半导体清洗理论与表面化学基础;
  2. 专业技能与资格:能使用SPC、DOE及表面分析工具(如SEM、XPS、AFM等)完成工艺评估与失效分析,具备流利的英语阅读与报告撰写能力;
  3. 行业与专业经验:7年以上半导体WET工艺研发经验,精通湿法和干法清洗工艺及机台工作原理,具备团队管理经验者优先;
  4. 项目/任务成果:主导过至少2个清洗工艺开发或优化项目,独立解决过Cu互连或High-k/Metal Gate结构相关的清洗工艺难题;
  5. 其他要求:具有组织协调与多任务管理能力,能在高强度、高压力的研发环境中主动推动任务闭环,并带动团队攻克技术瓶颈。

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