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封装扩散工艺开发主任工程师-Packaging Diffusion Process Development Staff Engineer(J20667)

长鑫存储技术有限公司

  • 上海市
  • 研发技术类

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岗位职责

  1. 工艺开发与窗口构建: 主导3D和
  2. 5D封装扩散工艺(涵盖Bake与Anneal等关键工序)的开发与验证,结合产品结构及材料特性,制定满足膜层稳定性、应力控制与可靠性要求的工艺方案;
  3. 设备装机与产能建设: 主导扩散产线新设备的功能规格评估、厂验收、装机与调试,建立设备工艺验收标准与产能基线,前置识别并闭环装机风险,保障产能快速释放与稳定运行;
  4. DOE设计与良率提升: 主导扩散工艺DOE实验设计与参数优化,系统分析温度曲线、气氛流量及升降温速率等关键参数对工艺效果的影响,建立可量产复现的工艺窗口,推动良率持续改善;
  5. CIP改善与标准化沉淀: 主导扩散工艺的CIP持续改善专项,推动工艺参数标准化与作业规范建设,迭代更新标准作业流程与工艺案例库。

职位要求

  1. 教育背景与专业知识:本科及以上学历,微电子/材料/物理/化学/机械等专业,具备扎实的半导体热处理工艺原理知识基础;
  2. 专业技能与资格:掌握Bake/Anneal相关机台操作与调试能力,具备DOE实验设计与数据分析能力,能使用统计工具完成工艺评估与优化;
  3. 行业与专业经验:5年以上半导体扩散工艺经验,有FAB或前沿封装产线扩散工艺经历,具备扩散设备装机与验机实战经验者优先;
  4. 项目/任务成果:主导或作为核心成员完成至少2个扩散工艺开发或CIP改善项目,具备良率提升或工艺能力改善的量化成果并实现量产验证;
  5. 其他要求:具有系统分析与问题解决能力,能推动跨部门协同闭环,工作严谨细致,具备较强的抗压能力与适应产线环境。

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